製程定位
這系列法蘭三通與異徑管裝在半導體廠化學品供應系統(CDS)的輸送管路,以及面板、太陽能濕製程產線的超純流體管路上,負責管線的分支與口徑轉換。這些位置的管線多半是法蘭連接的不鏽鋼內襯管:外面靠金屬承受管線壓力、支撐與碰撞,裡面靠 PFA 讓化學品碰不到金屬。
三通與異徑管看起來只是配角,但它們是管線上流向、流速改變的地方,也是內襯特別容易因施工錯位或熱脹冷縮而受力的地方。整條管線的接液面要全氟,這些配件的內襯就得跟直管、閥門同一個等級。
核心特色
本體是 316L 不鏽鋼、內襯高純 PFA,接液面只有 PFA,離子污染極低。耐酸鹼、耐化學品、耐腐蝕、耐蒸汽,同一套配件可以跨多種化學品使用,不必為不同藥液各備一套材質。
- 設計壓力真空 ~ 1.0 MPa(20 °C),抽吸與排空時的負壓也在額定內。
- 設計溫度 -30 ~ +150 °C,可承受熱藥液與蒸汽。
- PFA 原料可依潔淨度需求,指定國際一線品牌超純等級,或高性價比的高純等級;可提供材質證明,並標示 FDA。
選型要點
先決定接口,再決定型式。法蘭件適合以法蘭為主的固定管線與設備接口;如果管線是卡盤系統、或需要常拆洗,請改看 PFA 內襯卡盤管件。
| 項目 | 等徑三通(T) | 異徑管(RC) |
|---|---|---|
| 用途 | 同口徑管線的分支與合流 | 主管轉接較小口徑的支管或設備口 |
| 口徑 | DN15、DN20、DN25、DN40、DN50 | DN80 × DN40、DN80 × DN20、DN50 × DN40、DN50 × DN25、DN40 × DN25、DN25 × DN20 |
| 法蘭標準 | HG/T 20592 | HG/T 20592 或 JIS 10K |
| 壓力/溫度 | 真空 ~ 1.0 MPa(20 °C)/-30 ~ +150 °C | 真空 ~ 1.0 MPa(20 °C)/-30 ~ +150 °C |
法蘭標準要跟對接的管線與設備一致:HG/T 20592 與 JIS 10K 的螺栓孔位不同,不能混接。日系設備多半是 JIS 10K,下單前請先確認設備圖面或銘牌。
使用與更換
內襯件的法蘭密封面是 PFA,安裝時避免用工具刮傷。管線要先對正再鎖螺栓,不要靠螺栓把錯位的管子硬拉過來,錯位的應力到頭來會集中在內襯上。螺栓依對角順序分次鎖緊;塑膠密封面在熱循環後會有些許潛變,首次升溫運轉後建議複緊一次。
墊片的選用依管線規範決定,請在詢價時說明。日常檢查留意法蘭邊緣有沒有滲漏痕跡、外殼有沒有變色或鏽斑,這通常是內襯已被滲透或損傷的訊號。


