製程定位
這支是黃光微影藥液端的旗艦濾心，特別針對光阻液裡的軟質膠體（Gels）。膠體是可變形的 —— 硬顆粒被孔徑擋住就結束了，膠體卻可能在壓差推動下擠過孔道，所以攔截膠體靠的不只是孔徑，還包括膜材與藥液之間不溶脹、不掉屑的化學穩定性。
核心特色
UPE（超高分子量聚乙烯）膜的本徵潔淨度好、掉屑量低，這對 2 nm 這種等級的過濾特別重要：濾心自己掉下來的碎屑，跟它攔下來的顆粒是同一個尺度。金屬與有機析出量都低，金屬潔淨度可選 < 3 或 < 25 µg/device。
精度從 2 nm 一路開到 0.2 µm，同一支型錄涵蓋從最嚴苛的先進製程到一般過濾需求，換精度不必換濾殼與端蓋介面。
選型要點
與同屬黃光段的 Nylon 66 濾心相比：
| 項目 | UPE（本款） | Nylon 66 |
|---|---|---|
| 濾膜 | UPE，疏水 | Nylon 66，天然親水 |
| 精度 | 2 nm – 0.2 µm | 2 nm – 0.1 µm |
| 外徑／面積 | Ø68 1.2 m²／Ø83 1.8 m²／10" | Ø68 mm，0.7 或 1.3 m²／10" |
| 選它的時機 | 光阻液膠體攔截、需要更大膜面積與更寬精度 | 要免酒精潤濕的水系或極性藥液 |
使用與更換
疏水膜，出廠可選乾式或超純水預潤濕。用於光阻與溶劑時，請以製程溶劑逐步置換潤濕液 —— 潤濕液與製程液若在膜面形成界面殘留，會直接反映成塗佈缺陷。耐溫上限 40 °C。
2 nm 與 5 nm 在 0 至 1 GPM 的區間就會用掉全部可用壓差，實務上以低流量、多支並聯運轉。光阻與溶劑的壓降要再乘上該液體相對於水的黏度比，切勿直接照水的曲線估流量。