製程定位
這支濾心裝在黃光微影段的藥液供應端：光阻、稀釋劑、顯影液與邊緣沖洗溶劑在塗佈前的最後一道過濾。塗佈製程沒有第二次補救機會 —— 藥液裡帶過去的一顆微粒就是晶圓上的一個缺陷，所以這段的濾心是直接掛在良率上的。
核心特色
Nylon 66 是天然親水膜，用超純水就能潤濕，不需要異丙醇預潤濕流程。換心後少一道酒精導入與置換，既縮短上線時間，也少一個把殘留溶劑帶進藥液的變因。
黃光段真正在意的是有機潔淨度：溶劑會把濾心材料裡的有機物萃取出來，跟著藥液一起塗到晶圓上。這支的有機物溶出量在有機溶劑中非常低，金屬潔淨度另可選 < 3 或 < 25 µg/device，並在潔淨室內完成組裝與包裝。
選型要點
黃光段的兩支主力濾心，差別在膜的潤濕性與可用精度：
| 項目 | Nylon 66（本款） | UPE |
|---|---|---|
| 濾膜 | Nylon 66，天然親水 | UPE，疏水 |
| 精度 | 2 nm – 0.1 µm | 2 nm – 0.2 µm |
| 外徑／面積 | Ø68 mm，0.7 或 1.3 m²／10" | Ø68 1.2 m²／Ø83 1.8 m²／10" |
| 選它的時機 | 水系或極性藥液、要免酒精潤濕 | 光阻液軟質膠體攔截、需要更大膜面積 |
使用與更換
以超純水潤濕即可；改用溶劑系藥液時，請以該溶劑逐步置換，不要一次切換。最大正向壓差 0.34 MPa、反向 0.24 MPa，耐溫上限 40 °C。
流量曲線的橫軸只到 1 GPM 是有原因的：2 nm 在 1 GPM 就已接近可用壓差上限。奈米級精度實務上以低流量、多支並聯運轉，換成 1.3 m² 的款式，同流量下壓降約可降為一半。