專為半導體濕製程設計的旗艦級全氟濾芯。採用高流速 PTFE 濾膜搭配 PFA 骨架，具備 10nm 至 0.2µm 的精密攔截能力。耐受 SC1, SC2, 49% HF, HNO3 與 NMP 等極端化學品，提供超低溶出物與卓越的耐溫性 (最高 180°C)，是先進製程良率的守護者。
| 型號 | 內部濾芯外徑 | 膜面積（10"） |
|---|---|---|
| SX | Ø68 mm | 1.2 m² |
| MX | Ø83 mm | 1.8 m² |
| MY | Ø83 mm | 2.2 m² |
| MZ | Ø83 mm | 2.8 m² |
註：實際相容性與壽命會受化學品濃度、溫度、流量、壓差、前段污染負載與濾殼設計影響，建議以實際製程條件進行樣品驗證。
| 代碼 | 規格 |
|---|---|
| 68 | Ø68 mm |
| 83 | Ø83 mm |
| 代碼 | 規格 |
|---|---|
| R10 | 10 nm |
| R15 | 15 nm |
| R20 | 20 nm |
| R30 | 30 nm |
| R50 | 50 nm |
| P10 | 0.1 µm |
| P20 | 0.2 µm |
| P45 | 0.45 µm |
| M001 | 1 µm |
| 代碼 | 規格 |
|---|---|
| 05 | 5" |
| 10 | 10" |
| 代碼 | 規格 |
|---|---|
| K | FFKM 全氟橡膠 |
| T | TEE（PFA 封裝 EPDM） |
| 代碼 | 規格 |
|---|---|
| 1 | < 0.5 µg/device（最高潔淨） |
| 2 | < 1 µg/device |
| 3 | < 3 µg/device |
| 4 | < 10 µg/device |
潔淨等級數字越小越潔淨，指單支濾心的金屬總溶出量。等級 1–3 需搭配全氟骨架。
| 代碼 | 規格 |
|---|---|
| D | 乾式包裝 |
| W | UPW 預濕包裝 |
| 代碼 | 規格 |
|---|---|
| N | In-line 直通 |
| T | T-flow 三通 |
| TV | T-flow 含核心排氣 |
流路型式加在長度之後，例如 JY-WE21D-83-R20-10-T-K2W。進出口與排氣接頭尺寸另行指定。
並非所有組合皆為常備品，罕見組合為訂製交期。下單前請與浚淵業務確認。
| 構型 / 進出口接頭 | A | B | C |
|---|---|---|---|
| In-line 3/8" flare | 344 mm | 35 mm | — |
| In-line 1/2" flare | 357 mm | 35 mm | — |
| In-line 3/4" flare | 360 mm | 35 mm | — |
| In-line 1" flare | 369 mm | 35 mm | — |
| In-line 3/4" Super Pillar | 350 mm | 35 mm | — |
| In-line 1" Super Pillar | 384 mm | 35 mm | — |
| T-flow 3/4" flare | 389 mm | 328 mm | 181 mm |
| T-flow 1" flare | 395 mm | 334 mm | 189 mm |
| T-flow 3/4" Super Pillar | 384 mm | 325 mm | 189 mm |
| T-flow 1" Super Pillar | 396 mm | 330 mm | 196 mm |
A = 總長；B 在直通型是排氣／排液口的凸出高度，在三通型是量到下端面的本體高；C 是三通型頭部的對邊寬。本體外徑：直通型 Ø104 mm；三通型本體 Ø108 mm、端蓋 Ø127 mm（含核心排氣款端蓋 Ø126 mm）。三通含核心排氣款與三通型共用同一組長度。表列為 10" 濾材段的構型，另有 2" 與 4" 立式短版。
超純水 25 °C、Ø83 mm 內部濾芯 10" 一體拋棄式膠囊（2.2 m²）、3/4" 接口、乾淨初始壓差 右軸為同一數值的 psi 讀數。
曲線含膠囊外殼與接口的壓損，不只是濾材段。換成 1" 接口時同流量下的壓降約低一成；1.8 m² 款約高兩成。實際藥液的壓降需再乘上該藥液在操作溫度下的黏度比。
| GPM / LPM | 20 nm | 30 nm | 50 nm | 0.1 µm | 0.2 µm |
|---|---|---|---|---|---|
| 2.00 / 7.57 | 10.8 | 8.11 | 6.67 | 5.51 | 4.54 |
| 4.00 / 15.1 | 21.6 | 16.2 | 13.3 | 11.0 | 9.08 |
| 6.00 / 22.7 | 32.4 | 24.3 | 20.0 | 16.5 | 13.6 |
| 8.00 / 30.3 | 43.2 | 32.4 | 26.7 | 22.0 | 18.2 |
| 10.0 / 37.9 | 54.0 | 40.5 | 33.4 | 27.5 | 22.7 |
| 化學品 | PTFE |
|---|---|
| — 酸 — | |
| 冰醋酸 | R |
| 濃鹽酸 | R |
| 鹽酸 6N | R |
| 濃硝酸 | R |
| 硝酸 6N | R |
| 濃磷酸 | R |
| 濃硫酸 | R |
| 氫氟酸 6N | R |
| — 鹼 — | |
| 氫氧化銨 1N | R |
| 氫氧化銨 3N | R |
| 氫氧化鉀 3N | R |
| 氫氧化鈉 3N | R |
| 氫氧化鈉 6N | R |
| — 醇類 — | |
| 戊醇 | R |
| 苯甲醇 | R |
| 丁醇 | R |
| 異丙醇（IPA） | R |
| 甲醇 | R |
| — 酮類 — | |
| 丙酮 | R |
| 環己酮 | R |
| 甲基乙基酮（MEK） | R |
| 甲基異丁基酮（MIBK） | R |
| — 油類 — | |
| 棉籽油 | R |
| 潤滑油 | R |
| 花生油 | R |
| 芝麻油 | R |
| — 芳香烴 — | |
| 苯 | R |
| 甲苯 | R |
| 二甲苯 | R |
| — 鹵代烴 — | |
| 四氯化碳 | R |
| 三氯甲烷 | R |
| 二氯乙烷 | R |
| 氟利昂 TF | R |
| 氟利昂 TMC | R |
| 二氯甲烷 | R |
| 全氯乙烯 | R |
| 三氯乙烯 | R |
| — 二醇類 — | |
| 乙二醇 | R |
| 甘油 | R |
| 丙二醇 | R |
| — 醚類 — | |
| 乙醚 | R |
| 異丙醚 | R |
| 二噁烷 | R |
| 四氫呋喃（THF） | R |
| — 酯類 — | |
| 醋酸戊酯 | R |
| 醋酸丁酯 | R |
| 醋酸溶纖劑酯 | R |
| 醋酸乙酯 | R |
| 醋酸甲酯 | R |
| 醋酸異丙酯 | R |
| — 其他 — | |
| 苯胺 | R |
| 二甲基甲醯胺（DMF） | R |
| 甲醛 37% | R |
| 汽油 | LR |
| 己烷（無水） | LR |
| 煤油 | R |
| 苯酚 | R |
| 吡啶 | R |
| 水 | R |
| 乙腈 | R |
本表為材質層級的通則性建議，非保證值。實際濃度、溫度、暴露時間與機械應力都會影響結果，導入前請以實際製程條件送樣驗證。
外殼、骨架、端蓋全部採 PFA，與濾膜同屬氟系材質，化學相容性一致、溶出量低。耐溫 180°C。
In-line 直通適合管路串接；T-flow 三通適合需要排氣或旁通的配置；T-flow 含核心排氣則能把濾芯內部的氣體徹底排掉，避免氣袋造成有效面積損失。
一體結構定位明確，不會有濾芯沒對正、O-ring 沒坐好造成旁通的風險。
為什麼選一體拋棄式。卡匣式換心時要開濾殼、拔濾芯、清濾殼、裝新芯，每一步都是操作人員接觸殘留藥液的機會，也是外部微粒進入系統的機會。一體拋棄式把濾芯與外殼做成一體，換的時候整支拆掉換新，接觸面只有進出口接頭。
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